鎢燈絲掃描電子顯微鏡具有明場、暗場、偏光以及微分干涉等不同的觀察模式。在金相組織觀察過程中，常規(guī)應(yīng)用廣泛的就是明場，大部分金相檢驗(yàn)檢測都可以通過明場模式拍攝。然而，暗場、偏光以及微分干涉在材料分析中具有其*作用的。
 

　　鎢燈絲掃描電子顯微鏡是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計(jì)算機(jī)通過光電轉(zhuǎn)換有機(jī)的結(jié)合在一起，不僅可以在目鏡上作顯微觀察，還能在計(jì)算機(jī)顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。盡管類型很多，但其結(jié)構(gòu)大體可以分為光學(xué)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、機(jī)構(gòu)系統(tǒng)三個(gè)部分；此外還有照相裝置，顯微硬度等。
 

　　如何校準(zhǔn)鎢燈絲掃描電子顯微鏡的誤差：
 

　　1、物鏡放大倍數(shù)的正確性：裝上10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)沒微尺放在工作臺上并壓緊。調(diào)查時(shí)測微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數(shù)的偏差。其余物鏡以此類推舉行校校準(zhǔn)，其偏差不大于5%。
 

　　2、目鏡分劃板的準(zhǔn)確度：將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調(diào)好焦距;調(diào)解工作臺，使分劃板的水平線與萬工顯縱導(dǎo)游軌行程平行并對好零位，按每20格測量一次，直到第100格，其偏差不大于5um。
 

　　3、物鏡成像清楚局限：用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣舉行調(diào)焦，使成像清楚。當(dāng)視場中心像非常清楚時(shí)，測得視場內(nèi)的成像清楚局限的偏差不低于60%。
 

　　4、各物鏡相對于目鏡的格值：裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺(推薦應(yīng)用隨機(jī)0.01mm測微尺)放在工作臺上并壓緊;調(diào)解測微尺標(biāo)尺軸線與儀器目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包括測微尺n條刻線數(shù)，該物鏡相對于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推舉行校準(zhǔn)。
 

　　以上內(nèi)容就是對如何校準(zhǔn)鎢燈絲掃描電子顯微鏡的誤差的介紹了，鎢燈絲掃描電子顯微鏡是普遍用于冶金、機(jī)械加工、科技等行業(yè)的丈量儀器